國內半導體裝備領域的領軍企業北方華創科技集團股份有限公司（以下簡稱“北方華創”）高層團隊到訪北京和利時自動化驅動技術有限公司（以下簡稱“和利時”），雙方就半導體裝備的智能化、數字化發展路徑進行了深入交流與探討。此次會晤，標志著兩家在各自領域擁有深厚技術積累的企業，正攜手探索高端制造與工業軟件深度融合的新篇章。

在全球半導體產業競爭日益激烈、技術迭代加速的背景下，裝備的智能化與軟件的自主可控已成為提升產業鏈競爭力的關鍵。北方華創作為中國主要的半導體工藝裝備企業，其產品線覆蓋刻蝕、薄膜沉積、清洗等多個關鍵環節，對裝備的精密控制、穩定運行以及工藝數據的深度挖掘有著極高的要求。而和利時作為中國領先的自動化與數字化解決方案提供商，在工業控制系統、工業軟件、智能制造平臺等方面擁有核心技術。雙方的合作，旨在將和利時在工業自動化、信息化領域的軟件優勢，與北方華創在半導體專用設備領域的硬件及工藝知識深度融合。

會談中，雙方重點探討了如何通過先進的工業軟件賦能半導體裝備。這包括但不限于：利用大數據和人工智能技術對裝備運行狀態進行預測性維護，減少非計劃停機時間；開發更智能、更柔性的工藝控制軟件，以適應先進制程對工藝窗口日益嚴苛的要求；構建從設備到工廠級的數字化孿生系統，實現工藝仿真、優化和虛擬調試，加速新產品導入和產能爬升；以及加強裝備數據的采集、分析與應用，挖掘數據價值，持續提升工藝良率和設備綜合效率（OEE）。

北方華創高層表示，半導體裝備的復雜性決定了其不僅是精密機械的集合，更是軟件定義的系統。裝備的智能化水平，直接關系到下游芯片制造的效率、成本與質量。與和利時這樣在工業軟件和控制系統領域有深厚積淀的伙伴合作，是北方華創推進產品智能化升級、增強市場競爭力戰略的重要一環。

和利時方面則強調，半導體產業是國家戰略性產業，為其提供高可靠、高性能的工業軟件與自動化解決方案，是和利時的責任與機遇。公司將依托自身在工業互聯網、邊緣計算、數字孿生等領域的技術，為北方華創量身打造更開放、更智能、更安全的軟件平臺，共同攻克半導體裝備智能化中的軟件難題，助力國產半導體裝備邁向更高水平。

此次高層互動，不僅是一次技術交流，更是一次重要的戰略對接。雙方約定將建立更緊密的溝通與合作機制，組建聯合技術團隊，圍繞具體項目開展聯合研發與試點應用。通過“硬件+軟件”的協同創新，共同探索一條符合中國半導體產業發展實際的裝備智能化新路徑，為保障中國半導體產業鏈的自主安全與持續發展貢獻合力。

業內人士認為，此類跨界合作預示著中國半導體裝備產業正從單點突破向系統化、生態化發展邁進。核心裝備企業與核心軟件企業的強強聯合，有望加速打破國外在高端裝備控制系統及工業軟件方面的壟斷，構建起更加完整、健壯的國產半導體產業生態體系。